




流量控制器(mfc)是用来控制气体流量的,流量计(mfm)是用来测量气体流量,电子流量控制器,如果你需要检测气体流量需要用mfm。 当然mfc还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,电子流量控制器厂家,压比较大,可以为mfc设定一个大流量,mfc会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,电子流量控制器,压力比较小mfc就不能测出来了,因为mfc压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的mfm。

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa,电子流量控制器价格, 若压差小于0.1 mpa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用mfc时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

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