




1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥,切忌粉尘、液体和油污。---时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为:sus316l(00cr17ni14mo2),sus417j1(00cr30mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下,也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时,应在定货时声明,使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平,但对位置并不---敏感,微型流量计公司,可以任意位置安装,微型流量计报价,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用,微型流量计, 用户应另配截止阀。---是用户使用腐蚀性气体,通常应该在流量控制器进出气口各加一个截止阀,以---工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%f.s以内,微型流量计多少钱, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量控制器出厂通常用氮气(n2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员---申明。

流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

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