




气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

不可以的,一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀,虽然可以起到一定的流量调节作用,但无法做到准确,稳定的流量控制,而气体流量控制器(mfc)是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流,是可以实现准确、稳定的流量控制,并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号,比例阀---满足不了mfc能起到的作用。

一般造成流量计零点漂移的因素有许多,热式流量控制器,解决流量计零漂问题,首先要定期进行零点检查和调整,二是需要和工艺配合来解决。一般情况下,管道压力变化造成介质微量流动也会导致流量控制器/流量计的零点漂移,出现这种漂移时,热式流量控制器多少钱,要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀(流量控制器不能当做截止阀来使用),使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口,消除管道内的压力和气流,从而达到消除零点漂移。

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