




流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的mfc; 2, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意,流体数字控制模块厂家, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误,流体数字控制模块, 造成---损失。
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通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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