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气体流量控制器的密封材料如何选择？

流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体，小型流量计， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成---损失。

通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。

由于金属密封的mfc价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明， mfc都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。

什么是气体流量控制器？

气体质量流量控制器 (mass flow controller 缩写为 mfc) 用于对气体的流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

流量控制器不仅具备流量计的作用，更主要的是，它能控制气体流量，即客户可按照需求设定流量，mfc会自动地将流量稳定在设定值上，即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变，小型流量计厂家，也不会使其偏移设定值。简易地说，流量控制器可以看成是一个稳流设备， 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。

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