通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
由于金属密封的mfc价格较高，气体控制器， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明，气体控制器公司， mfc都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。
1.怕粉尘， 若粉尘进到气体流量控制器内部会阻塞传感器和分流器， 导致数据误差， 所以建议在mfc进气口前加装过滤装置;
2.怕液体和油渍进到mfc， 一旦有液体进入到mfc内部会导致无法控制，所以建议在mfc进气口前端还要加装干燥装置， 假如mfc的出口接有液体罐， 也要在mfc出口再加上单向阀， 避免液体流回;
3.怕应用湿冷的腐蚀性气体， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 导致mfc通道毁坏， 因而在应用腐蚀性气体前， 要对气体和mfc管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，气体控制器多少钱，然后再通腐蚀性气体，等mfc工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，气体控制器报价，---管路中不会残存腐蚀性气体。
4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作， 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。
5.使用mfc前还需要将mfc进行通电预热，---mfc在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对mfc进行调零处理，否则将影响mfc的精度。
气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差小于0.1 mpa， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用mfc时， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态， 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内， 而且压差要相持续稳定。
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