




1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥,切忌粉尘、液体和油污。---时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为:sus316l(00cr17ni14mo2),sus417j1(00cr30mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下,也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时,应在定货时声明,使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平,但对位置并不---敏感,可以任意位置安装,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。---是用户使用腐蚀性气体,通常应该在流量控制器进出气口各加一个截止阀,小型流量计,以---工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%f.s以内,小型流量计, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量控制器出厂通常用氮气(n2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员---申明。

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式,测量的精度高,多款外形尺寸可选,双四位的led显示,支持电流、电压的输入方式,可带多个控制点、多窗口显示,适用于流量等过程量的监测,是一款非常高的产品。
2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示,除了具有精度等级高,线性精度好以外,操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。
3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式,小型流量计价格,适合多气路以及产品的集成,一键启动,人机界面,具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固---、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。

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