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对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的(如g/min),流体系统控制单元报价,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是, 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位, 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位(kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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