对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是，气体流量控制模块， 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位， 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位（kg/min），气体流量控制模块报价， 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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将 fscu 嵌入到应用系统中，fscu 可通过触摸屏、plc、pc 软件等上位机系统控制---主流流量控制器（如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌）及截止阀，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中，气体流量控制模块多少钱， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差低于值(0.1 mpa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa)， 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。
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