通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
由于金属密封的mfc价格较高， 通常要求不高的场合，数字控制器厂家， 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明， mfc都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。
不可以的，数字控制器，一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀，虽然可以起到一定的流量调节作用，但无法做到准确，稳定的流量控制，而气体流量控制器（mfc）是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流，是可以实现准确、稳定的流量控制，并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号，比例阀---满足不了mfc能起到的作用。
(1) 流量的测量和---不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲，难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计，数字控制器多少钱，工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差；针对流量计 / 流量控制器，则一般可以忽略。
(2) 测量---的自动化技术 流量计 / 流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对流量控制器来讲，还能够完成流量的自动控制系统。通常， 模拟的mfc/mfm数据信号为0~ 5v或4~20ma， 数字式mfc/mfm还装有rs232或rs485数据串行通信通信口， 能十分便捷地与电脑联接， 开展自动控制系统。
(3) 定量---流量 流量控制器可以控制汽体的给定量，这对许多加工工艺全过程的流量---﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。
(4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴，可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体（包含一些腐蚀汽体，如hcl）
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