流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种：
体积流量的公式为q=vs，气体热式流量计，q代表气体的体积流量（m/s），v代表气体的平均流速（m/s），s代表气路管道的横截面积（㎡）。
流量则是m=ρq=ρvs，气体热式流量计公司，m代表气体的流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），气体热式流量计，q代表气体的体积流量（m/s）。
重量流量则是g=γq=ρgvs=gm，g代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（n/㎡），m代表气体的流量（kg/s）。
气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
(1) 流量的测量和---不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲，难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计，工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差；针对流量计 / 流量控制器，则一般可以忽略。
(2) 测量---的自动化技术 流量计 / 流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对流量控制器来讲，还能够完成流量的自动控制系统。通常， 模拟的mfc/mfm数据信号为0~ 5v或4~20ma， 数字式mfc/mfm还装有rs232或rs485数据串行通信通信口， 能十分便捷地与电脑联接， 开展自动控制系统。
(3) 定量---流量 流量控制器可以控制汽体的给定量，这对许多加工工艺全过程的流量---﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。
(4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴，可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体（包含一些腐蚀汽体，如hcl）
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