流量控制器（mfc）是用来控制气体流量的，流量计（mfm）是用来测量气体流量，如果你需要检测气体流量需要用mfm。 当然mfc还是有检测方法的，如果通过气体流量比较大，气体流量控制器，压比较大，可以为mfc设定一个大流量，mfc会反馈一个值，这个值就是气体的流量。 如果流量比较小，压力比较小mfc就不能测出来了，因为mfc压损通常是比较大的，如果气体流量比较小，压力比较小就没办法测量了，就需要抵压损的mfm。
一般造成流量计零点漂移的因素有许多，解决流量计零漂问题，首先要定期进行零点检查和调整，二是需要和工艺配合来解决。一般情况下，管道压力变化造成介质微量流动也会导致流量控制器/流量计的零点漂移，出现这种漂移时，要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀（流量控制器不能当做截止阀来使用），使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口，消除管道内的压力和气流，从而达到消除零点漂移。
通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
由于金属密封的mfc价格较高，气体流量控制器价格， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明， mfc都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。
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