气体流量控制厂家-晓韬科技-气体流量控制

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    2023-11-17

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如何通过流量控制器判断没有气体通过?

流量控制器(mfc)是用来控制气体流量的,气体流量控制厂家,流量计(mfm)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用mfm。  当然mfc还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为mfc设定一个大流量,mfc会反馈一个值,气体流量控制多少钱,这个值就是气体的流量。  如果流量比较小,气体流量控制,压力比较小mfc就不能测出来了,因为mfc压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的mfm。




气体流量控制器应用领域

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。




气体流量控制器的原理是什么?

流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。




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