通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
由于金属密封的mfc价格较高， 通常要求不高的场合，气体热式流量计报价， 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明， mfc都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。
流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源， 设定电位器， 和三位阀控开关等。
(1) 流量的测量和---不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲，难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计，气体热式流量计，工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差；针对流量计 / 流量控制器，则一般可以忽略。
(2) 测量---的自动化技术 流量计 / 流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对流量控制器来讲，还能够完成流量的自动控制系统。通常， 模拟的mfc/mfm数据信号为0~ 5v或4~20ma， 数字式mfc/mfm还装有rs232或rs485数据串行通信通信口， 能十分便捷地与电脑联接， 开展自动控制系统。
(3) 定量---流量 流量控制器可以控制汽体的给定量，这对许多加工工艺全过程的流量---﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。
(4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴，可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体（包含一些腐蚀汽体，如hcl）
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