气体流量单位一般以sccm（standard cubic centimeter per minute，每分钟标准毫升）和slm（standard liter per minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，气体流量计控制单元多少钱，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的（如g/min），气体流量计控制单元，这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是， 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位， 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位（kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，气体流量计控制单元价格， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误，气体流量计控制单元报价， 造成---损失。
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