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体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，气体流量计控制单元，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于流量。

需要注意的是， 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位， 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位（kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的semi。

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fscu 用途

将 fscu 嵌入到应用系统中，fscu 可通过触摸屏、plc、pc 软件等上位机系统控制---主流流量控制器（如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌）及截止阀，气体流量计控制单元厂家，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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