




将 fscu 嵌入到应用系统中,气体流量计控制单元,fscu 可通过触摸屏、plc、pc 软件等上位机系统控制---主流流量控制器(如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌)及截止阀,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的mfc; 2,气体流量计控制单元价格, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源,气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明,气体流量计控制单元报价, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc,气体流量计控制单元多少钱, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。
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