流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，控制器， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源，控制器厂家， 设定电位器， 和三位阀控开关等。
气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差小于0.1 mpa， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用mfc时， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态， 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内， 而且压差要相持续稳定。
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